用于高晶硅、陶瓷、硬质合金、玻璃、晶圆片双面研磨及抛光

主要参数： 
1、上下研磨尺寸;(mm)      φ  1160*377*50
2、游星轮最大直径（mm）
3、游星轮参数：齿数=84 模数=16
4、游星轮数量：5片
5、修正轮数量：3片
6、最小研磨/抛光厚度：0.3mm
7、最大研磨/抛光厚度：25mm
8、下研磨盘转速（rpm）：0~50
9、上研磨盘转速（rpm）:  0~40
10、上研磨盘上升气缸缸径：φ160mm
11、内外齿圈抬升行程：0~40mm
12、气源压力：0.5~60mpa
13、主电机功率：11kw  380v  1460rpm
14、设备外形尺寸：2500*2200*2800mm